事故ID | 事故年 | 事故月 | 事故日 | 事故タイトル |
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3914 | 1989 | 6 | 16 | フランジ部から漏洩したシランガスの自然発火事故 |
4323 | 1991 | 10 | 30 | cvd装置運転中における塩化ビニール製排気管の火災事故 |
4554 | 1996 | 8 | 14 | 配管清掃中における管内滞留シランガスの爆発事故 |
5183 | 1998 | 7 | 半導体製造工場で定期修理中の配管からのモノシランガスの漏洩火災事故 | |
5466 | 1996 | 1 | 23 | モノシランガス容器の点検中における漏洩火災事故 |
5472 | 1996 | 4 | 5 | ホスフィンとモノシランの混合ガス容器消費中の誤った交換作業による漏洩火災事故 |
5492 | 1996 | 12 | 21 | 半導体製造工場でのモノシラン漏洩爆発事故 |
6528 | 2005 | 4 | 27 | 水素/モノシラン混合ガスの焼却処理中に爆発 |
7477 | 2009 | 8 | 2 | 半導体工場でシランガスが発火 |
7724 | 2010 | 9 | 21 | 倉庫内でモノシランのボンベから火災 |