CAS番号	7803-62-5
物質名称	シラン（別名：モノシラン、四水素化ケイ素）

 

用途	シリコンのエピタキシャル成長用，酸化シリコン原料，半導体用特殊ガス
出典	化学工業日報社

 

備考

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