文献情報 特許

データID DOPA0000007215267
データタイトル 特許(CMP後洗浄液、洗浄方法及び半導体ウェハの製造方法 (特許7215267)(2023))
URI
タイトル CMP後洗浄液、洗浄方法及び半導体ウェハの製造方法 (特許7215267)
著者または発明者・考案者 梅本 彩香
草野 智博
柴田 俊明
竹下 寛
出版者または出願人・権利者 三菱ケミカル株式会社
刊行物名
ISSN
開始ページ
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出版年月日または特許関連日付 2023-01-23
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