文献情報 特許

データID DOPA0000007229458
データタイトル 特許(非晶質炭素膜とその製造方法 (特許7229458)(2023))
URI
タイトル 非晶質炭素膜とその製造方法 (特許7229458)
著者または発明者・考案者 平栗 健二
小野寺 修
藤井 慎也
森口 秀樹
出版者または出願人・権利者 学校法人東京電機大学;日本アイ・ティ・エフ株式会社
刊行物名
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出版年月日または特許関連日付 2023-02-17
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